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產品名稱：重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統成都及西南區客戶共享資源
產品型號：SMIFPOD清潔系統CP-2200
產品廠商：HUGLE藤宮
產品價格：0
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簡單介紹：

重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統成都及西南區客戶共享資源重慶內藤機械設備有限公司重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統成都及西南區客戶共享資源

詳情介紹：

SMIF POD清潔系統CP-2200

這是為了**清潔和干燥8英寸SMIF POD而開發的前端操作方法的手動設定方法。
CP-2200是一種清潔和干燥設備，適用于研究用途，中試線等，具有半導體設備和先進技術的容器清潔設備制造商獨有的先進知識。
CP-2200也可以使用盒式清潔/干燥等。

產品概述

●SMIF箱，同時純水射流清洗，基部內表面的氣刀暖風干燥的蓋部的內表面和外表面
●吊艙旋轉時，設置在靠近噴嘴的精密清洗，干燥
●除了洗滌少量期間純凈水引流到預防**的產生
操作方便通過●觸摸屏
●序器系統通過控制器
●友好的操作者的各種**裝置
●維修方便
可以是各種各樣的設計能夠滿足需求的辦法●

規范

設定方法	手冊
處理目標	8英寸SMIF POD / 8英寸盒式磁帶
處理時間	1套/ 15分鐘
外部尺寸	1300（寬）x 70（長）x 1580（高）毫米（當室門打開時）
重量	300公斤
電源	3相，200 VAC（帶接地），8 KVA，50/60 Hz
純凈水	流量	10升/分鐘（低要求流量）
純凈水	壓力	0.1 Mpa
CDA （干凈的干燥空氣）	流量	1600 NL / min
CDA （干凈的干燥空氣）	壓力	0.7 Mpa
排氣	發動機排量	2000 NL / min或更高
引流	流量	40升/分鐘以上

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