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変換素子にひずみゲージを使用して、センサ內(nèi)部でブリッジを構(gòu)成した小型薄肉構(gòu)造をした圧力センサです。スパッタリングとフォトリソグラフィ技術(shù)による薄膜ひずみゲージをダイヤフラム上に直接形成してあります。取り付けは接著剤を使用して行います。主に気體計(jì)測(cè)用に開(kāi)発されたものです。

特長(zhǎng)

注1）接液部の材質(zhì)は銅合金を使用しています。本材質(zhì)が腐食する恐れのある液體、気體には使用しないでください。
注2）接液部の組立に接著剤を使用しております。有機(jī)溶剤（トルエン、ケトン類など）の測(cè)定には使用できません。
注3）高溫高濕の場(chǎng)所で長(zhǎng)時(shí)間測(cè)定することはできません。
注4）水中で使用できません。

仕様

性能

定格容量	50kPa
非直線性	±1%RO以內(nèi)
ヒステリシス	±1%RO以內(nèi)
定格出力	1mV/V（2000×10^-6ひずみ）以上
ケーブルの引き出し方向	受圧面に対して平行方向

環(huán)境特性

許容溫度範(fàn)囲	-20～70℃
溫度補(bǔ)償範(fàn)囲	0～50℃（AF，BFは結(jié)露しないこと）
零點(diǎn)の溫度影響	±0.8%RO/℃以內(nèi)
出力の溫度影響	±0.3%/℃以內(nèi)

電気的特性

許容印加電圧	4V ACまたはDC
推奨印加電圧	1～2V ACまたはDC
入力抵抗	350～1000Ω
出力抵抗	350～1000Ω
ケーブル	外徑0.08mm，ポリウレタン銅線5cm，先端はんだあげ

機(jī)械的特性

許容過(guò)負(fù)荷	150%
固有振動(dòng)數(shù)	約18kHz
質(zhì)量	0.15g
構(gòu)造	密閉型

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概要

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仕様

性能

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電気的特性

機(jī)械的特性

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